■体积最小的低温型精密恒温液浴循环装置 ■H型适合高温环境条件应用,满足半导体扩散炉工艺要求
采用高精度动态恒温控制技术,最佳恒温波动度达到±0.02℃。
采用全封闭磁力泵循环搅拌,温场均匀,绝无泄漏,同时满足外循环需求。通过将传感器与循环泵液流的一体化设计,大大提高控温精度和温场均匀度。
采用紧凑型旋转式制冷压缩机,实现世界上最小的制冷型恒温液浴循环装置。高温型压缩机和水冷冷凝器的完美结合,尤其适合半导体扩散炉工艺要求。
型号 |
XT5205-D31-R10C |
XT5205-D31-R20C |
XT5205/H-D31-R+5C |
XT5205/H-D31-R05C |
温度范围 |
℃ |
-10~+90 |
-20~+90 |
+5~+90 |
-5~+90 |
温度波动度 |
℃ |
±0.02~0.05 |
加热功率 |
W |
500 |
制冷量@20℃室温 |
+20℃ |
W |
100 |
200 |
200 |
250 |
0℃ |
70 |
150 |
- |
100 |
-20℃ |
- |
40 |
- |
- |
压力循环泵 |
压力 |
mbar |
100 |
流量 |
L/min |
5 |
压缩机 |
W |
120 |
150 |
制冷剂 |
HFC134a |
内胆材料 |
一次成型304不锈钢槽 |
外壳材料 |
优质冷轧钢板静电喷涂 |
内胆尺寸 |
mm |
240W×125D×150H |
浴槽开口 |
mm |
200W×100D |
外形尺寸 |
mm |
310W×460D×280H |
适用环境温度 |
℃ |
5~35 |
5~50 |
工作方式 |
连续 |
辅助及安全功能 |
数显温度校正,传感器异常保护和报警,高温保护和低温报警,停电自动恢复,防干烧 |
电源 |
AC220V±10%, 50Hz |
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